WF6 jest głównie używany jako surowiec do procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) wolframu metalicznego w przemyśle elektronicznym. WSi2 wykonany z WF6 może być używany jako materiał do okablowania w układach scalonych dużej skali (LSI), a także jako surowiec do elektrod półprzewodnikowych, fluoru Surowce do środków chemicznych, katalizatorów polimeryzacji, materiałów optycznych itp.